是一种研究材料表面和界面电子的重要分析方法。主要用于材料的表面几个原子层（1–10nm厚的表面）的化学组成、价态及功函数特性的分析与表征。可检测元素周期表中除H、He以外的所有元素。适用于分析纳米材料、无机化合物、聚合物、半导体、陶瓷、催化剂、玻璃、纸张、纺织品等固体材料。样品形态包括块状、薄膜、粉末等。在能源、化工、化学、物理、新材料、电子工业、冶金等领域均具有广泛的样品适用性。

校内：
1. 常规全谱谱图采集：150元/样；
2. 常规XPS谱图窄扫测试：包括宽扫和5个元素（含C1s）的窄扫，300元/样，每增加一个元素加收50元/样；
3. Ar离子清洁样品（3分钟以内）：100元/次；Ar离子减薄样品（5分钟以内）：150元/次；
4. 深度剖析测试：750元/小时；
5. UPS：500元/样。
校外：
1. 常规全谱谱图采集：300元/样；
2. 常规XPS谱图窄扫测试：包括宽扫和5个元素（含C1s）的窄扫，600元/样，每增加一个元素加收100元/样；
3. Ar离子清洁样品（3分钟以内）：200元/次；Ar离子减薄样品（5分钟以内）：300元/次；
4. 深度剖析测试：1500元/小时；
5. UPS：1000元/样。

1. 不能被测试的样品种类：放射性样品；剧毒性样品；具有强磁性的样品；在制样过程中容易快速潮解的样品；真空条件下可以释放大量气体，尤其释放出的气体对不锈钢具有腐蚀性的样品，比如可以释放出HCl+H2O；在X光照射下会分解的样品。
2. 粉末样品：必须干燥，粉末越细越好，样品用量几到几十毫克。
3. 块状样品：厚度≤2 mm,长*宽≤5*5 mm。
4. 送样要求：
（1）所有样品在送样前必须进行干燥；粉末样品必须真空干燥，颗粒越细越好，否则影响测试性能。
（2）样品中不得含有乙酸乙酯、氯仿、二氯甲烷、苯、环己烷、DMSO等有机溶剂；
（3）易被氧化的样品在送样过程中应注意隔绝空气；
（4）含有F和I元素的挥发性样品，一旦有F和I元素挥发，则会严重污染腔体，因此不进行检测。
（5）对薄膜、片状、块状样品应标记出测试面。